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真空泵的負壓范圍真空泵的負壓范圍可以從0.1帕到10^-11帕不等。具體來(lái)說(shuō):旋轉葉片真空泵的負壓一般可以達到0.1-0.01帕的級別。固體活塞真空泵的負壓可以達到0.5帕左右。渦輪分子泵的負壓可以達到10^-6-10^-11帕的級別,是目前真空度Z高的一種泵。
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